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案件記録

电子探测器及透射电子显微镜成像系统

発明有効
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

叶志楠; 刘小猛; 李树; 纪品全; 孙飞

IPC分類

H01J 37/26 (2006.01)H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/147 (2006.01)

本申请涉及一种电子探测器及透射电子显微镜成像系统。电子探测器包括转换元件、第一反射元件、第二反射元件以及光敏元件。转换元件用于接收电子束并将电子束转化为光线。第一反射元件用于接收并反射所述转换元件出射的光线。第二反射元件用于接收并反射所述第一反射元件反射的光线。光敏元件用于接收所述第二反射元件反射的光线。上述电子探测器,有利于提升电子探测器的分辨率,降低光线损耗。

外部リソース