一种超声微马达定子结构、制备方法以及集成模组

本发明属于超声微马达技术领域，特别涉及一种超声微马达定子结构、制备方法以及集成模组。其技术方案为：一种超声微马达定子结构，包括环状的弹性基底，弹性基底的上、下两侧均沿圆周方向设置有若干压电薄膜组件，上侧的若干压电薄膜组件和下侧的若干压电薄膜组件一一正对设置，同侧的若干压电薄膜组件加载的驱动信号沿圆周方向等相位变化。本发明提供了一种超声微马达定子结构、制备方法以及集成模组，保持微马达低电压驱动、低功耗的优势下，保证低成本批量制备，实现更大力矩的输出，解决微马达驱动力矩不足的问题。