MEMS声学传感器及其使用方法

本发明提供一种MEMS声学传感器及其使用方法，其中的MEMS声学传感器，包括封装结构，在所述封装结构内设置有光线发生组件、声振动器件以及光感组件；其中，所述声振动器件用于拾音并发生振动；并且，在所述声振动器件振动过程中，所述光线发生组件发出的光线经所述声振动器件反射后照射在所述光感组件上的不同感应位置，所述光感组件基于被照射的感应位置产生相应的电信号。本发明能够解决现有的MEMS声学传感器灵敏度低的问题。