一种基于多工艺参数调控的远程等离子体源的点火方法

本发明公开了远程等离子体源技术领域内的一种基于多工艺参数调控的远程等离子体源的点火方法，包括：根据不同气体类型，由点火调控参数获取方法获取优化后的气体压力、气体流量和腔室气体温度，及最小点火击穿电压；根据优化后的P、Q、T，调整反应腔体内的P、Q、T，并根据调节点火电压阈值；根据点火电压阈值进行点火，当点火成功后，调整P、Q、T到预设的工艺参数。该点火方法通过多参数协同调控与动态阈值设计，减少高压点火导致的设备损坏风险，大幅提高点火成功率和系统稳定性，显著提高了设备的适应性与可靠性。