太阳能电池及其制备方法

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及太阳能电池及其制备方法，该太阳能电池的n型掺杂层和p型掺杂层两者中的至少一者为复合掺杂层，复合掺杂层包括微晶硅层和形成于微晶硅层的高度非晶化层；且形成于复合掺杂层的第一透明导电层或第二透明导电层包括形成于高度非晶化层的高功函数层。该太阳能电池一方面能够防止掺杂元素的过度偏析，改善因偏析形成杂质散射中心的问题，进而避免加剧载流子的复合以及传输损失；另一方面可以有效阻止部分杂质和轻质元素的移动，有利于提升太阳能电池的长期可靠性；还有一方面能够降低势垒，确保空穴传输更加容易，损失更小，并提高隧穿概率，进而确保太阳能电池具有良好的能量转换效率。