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案件記録
用于化学机械抛光的挡圈
発明有効
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14請求項 · 3 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
大卫·威尔金森; 史蒂芬·瓦姆斯利; 凯蒂·黑文斯; 克林特·诺威
IPC分類
B24B 37/24 (2006.01)B24D 18/00 (2006.01)
一种用于化学机械处理的挡圈，包括由基体材料和填料制成的导热材料。所述填料按重量计占挡圈材料的10%至70%。
外部リソース
発明者
大卫·威尔金森; 史蒂芬·瓦姆斯利; 凯蒂·黑文斯; 克林特·诺威
IPC分類
一种用于化学机械处理的挡圈，包括由基体材料和填料制成的导热材料。所述填料按重量计占挡圈材料的10%至70%。
外部リソース