用于进行材料移除操作的抛光组合物和方法

一种抛光组合物可以包含：铝(III)盐、高锰酸盐和水，其中基于该抛光组合物的总重量计，该高锰酸盐的量可以为至少2.5重量%；基于该抛光组合物的总重量计，该铝(III)盐的量可以为至少0.2重量%；并且该组合物的pH不大于4.5。