用于压印光刻的印模、其制造方法以及用于压印光刻的方法

本发明公开了印模及在压印光刻中使用该印模的方法。该印模配置为在光刻胶层中形成图案，其中该印模包括透明层及在其上的用于压印该图案的多个突起部，其中多个突起部由具有光吸收性质的柔性复合材料制成以形成光阻挡图案以用于选择性地阻挡穿过其的光。本发明也涉及制造该印模的方法。