一种类金刚石薄膜封装的石墨烯复合导热垫片

本发明涉及一种类金刚石薄膜封装的石墨烯复合导热垫片，包括两层或三层结构结合的复合结构，采用两层为类金刚石薄膜和石墨烯层结合的复合结构，采用三层为类金刚石薄膜、石墨烯层和类金刚石薄膜复合结构；其中石墨烯层，即普通的石墨烯导热垫片，结构为竖直石墨烯泡沫膜‑粘结胶‑竖直石墨烯泡沫膜‑粘结胶周期交叠形成，在沉积类金刚石薄膜层之前，石墨烯层需要进行表面处理，表面处理方法为激光或等离子处理。类金刚石薄膜层采用物理气相沉积和化学气相沉积，覆盖在石墨烯层的表面。本发明提供的复合导热垫片，既能实现优异的电绝缘特性，又能降低界面热阻，同时缓解导热各向异性，提升整体强度并消除石墨烯碎屑脱落隐患。