液体供给装置、设备的制造方法以及设备

本发明的实施方式涉及液体供给装置、设备的制造方法以及设备。液体供给装置（1）具备喷头（10）、光量传感器（20）、计算部（32）、以及电压控制部（34）。喷头（10）向基材（40）的亲水区域（48B）供给液体（前体液（50A））。光量传感器（20）对供给到基材（40）上的供给液（供给芯（50B））照射照射光（20A），并计测照射光（20A）因供给液（供给芯（50B））而产生的反射光（20B）的反射光量。计算部（32）基于反射光量，计算用于使供给液（供给芯（50B））的剖面形状成为目标形状的供给时间。电压控制部（34）控制向喷头（10）以及基材（40）中的至少一者的施加电压，以使按照计算出的供给时间、供给液体（前体液（50A））。