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案件記録
多晶硅生产的还原尾气回收方法及系统
発明不明
10請求項 · 2 独立
§ Ⅰ
案件概要
IPC分類
C01B 33/107 (2006.01)B01D 53/00 (2006.01)B01D 53/18 (2006.01)B01D 53/14 (2006.01)B01D 3/14 (2006.01)B01D 3/32 (2006.01)C01B 7/03 (2006.01)C01B 7/07 (2006.01)C01B 3/506 (2026.01)C01B 3/52 (2006.01)C01B 3/56 (2006.01)
本申请实施例提供一种多晶硅生产的还原尾气回收方法及系统,用于降低还原尾气回收成本。该方法包括:将还原尾气冷凝后获得液相氯硅烷和气相尾气;将气相尾气加压后送入吸收塔;在解析塔内加入液相三氯氢硅,以使解析塔内形成预定配比的复合吸收液;将至少部分复合吸收液降温后送入吸收塔,复合吸收液与气相尾气逆流接触,吸收塔产出含氯化氢复合富液和富氢混合气;将含氯化氢复合富液送入解析塔进行解析,解析塔产出气相氯化氢和复合吸收液;将富氢混合气送入吸附装置,获得高纯氢气。
外部リソース