一种耐卤素等离子体腐蚀的防护涂层及其制备方法和应用

本发明属于涂层技术领域，具体涉及一种耐卤素等离子体腐蚀的防护涂层及其制备方法和应用。本发明由于非晶态结构消除了晶界腐蚀通道，以及表面F梯度钝化层极低的化学活性，涂层的耐卤素等离子体腐蚀能力极强。本发明Zr/Hf元素的引入显著提升了涂层的韧性，配合沉积后的热处理工艺有效释放了内应力，使得涂层与铝合金、陶瓷等基体的结合力极强（划痕法临界载荷>30 N），在强等离子体轰击和热冲击下不易开裂、不剥落。