重叠基座及预热环

本公开内容涉及重叠基座及预热环。本文公开的实施方式通常提供对处理腔室中的气流的改进控制。在至少一个实施方式中，一种用于处理腔室的衬垫包括：环形主体，具有侧壁；及排气件，形成在环形主体中，用于将气体从环形主体的内侧排放到外侧。排气件包含穿过侧壁设置的一个或多个排气孔。衬垫进一步包括在环形主体中用于基板装载和卸载的开口。