一种钛铝钼蚀刻液

本发明提供一种钛铝钼蚀刻液，所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量55‑65%的磷酸、1‑8%的硝酸、8‑15%的醋酸、0.3‑1%的二丁基二硫代氨基甲酸钠，0.05‑0.2%的缓蚀剂，剩余为去离子水。所述的蚀刻液成分包括磷酸、硝酸、醋酸、二丁基二硫代氨基甲酸钠，缓蚀剂，去离子水；所述蚀刻液成分中的缓蚀剂为1‑(S‑甲磺酰亚胺基)吡咯烷、(乙基磺亚胺酰基)乙烷、丙烷‑2‑亚磺酰胺中的至少一种。本发明所述的钛铝钼蚀刻液蚀刻后坡度角平滑，底部Mo层拖尾长度＞300nm。