一种热沉材料凸台侧壁镍层去除方法、系统、设备及介质

本申请涉及半导体封装技术领域，具体提出一种热沉材料凸台侧壁镍层去除方法、系统、设备及介质，方法包括：将热沉材料作为工作电极浸入电解液中；设置与热沉材料的凸台侧壁轮廓相匹配的辅助阴极，并使辅助阴极与凸台侧壁之间的间隙处于预设间隙范围，以将电场强度集中于凸台侧壁；在工作电极与辅助阴极之间施加电流，使凸台侧壁的镍层发生阳极溶解；监测工作电极与辅助阴极之间的工作电流，或监测工作电极的开路电位的变化，当检测到镍层完全去除的特征信号时自动停止去除过程。本申请具有非接触、无应力、精度高、自动化程度高等优点，特别适用于具有微细凸台结构的热沉材料的局部选择性去镍处理，保证了器件的可靠性与成品率。