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案件記録
一种基于界面重组生长的单晶六方氮化硼薄膜及其制备方法
発明不明
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
张璐; 薛张伟; 邱杰; 吴巍炜; 刘涛平; 苏晨; 刘莉
出願日
Aug 13, 2026
公開日
Oct 16, 2026
IPC分類
C30B 1/04 (2006.01)C30B 29/40 (2006.01)C30B 29/64 (2006.01)C30B 29/52 (2006.01)
一种基于界面重组生长的单晶六方氮化硼薄膜及其制备方法,具体包括:将多晶Ni‑Cr合金箔高温退火形成具有平行台阶结构的单晶Ni‑Cr合金箔;将BN粉末热压致密化后与合金箔下表面紧密贴合;将贴合结构置于含氮保护气氛中,在1100~1500℃下高温保温,使界面处BN局部溶解并结构重组,在单晶台阶诱导下择优形核并横向外延生长,获得单晶六方氮化硼薄膜;本发明通过固‑固界面重组与单晶衬底取向诱导的协同作用,解决了传统CVD法气相前驱体随机形核导致的多晶晶界、堆垛无序缺陷问题,成功制备出高质量、单一取向的单晶hBN薄膜;该方法利用我国的金属箔与粉末加工工艺,制备过程可控,适于规模化生产,为高性能二维电子器件、深紫外光电器件及量子芯片提供了关键基础材料。
外部リソース