低温泵

本发明涉及能够抑制对排气速度的影响并且提高吸附容量的低温泵。低温泵（10）具备：辐射屏蔽件（30），其与制冷机（14）的第1冷却台（22）热连接，并从低温泵吸气口（12）沿轴向延伸到低温泵容器（16）内；以及多个低温板，其与制冷机（14）的第2冷却台（24）热连接，并在辐射屏蔽件（30）的内侧沿轴向排列。多个低温板包括：在轴向上最接近低温泵吸气口（12）的顶部低温板（41）；以及在轴向上与顶部低温板（41）之间隔着空间而配置的至少一个低温板。顶部低温板（41）具有使气体通过顶部低温板（41）与至少一个低温板之间的空间的开口部（46）。