一种真空压力调节阀的控制系统

本发明公开了一种真空压力调节阀的控制系统，涉及压力调节阀领域，本发明通过引入基于弹性件复位弹力与膜片组件有效承压面积计算的第一补偿项，以及基于大气压、工作口实际压力、第一容腔的横截面积及膜片组件的有效承压面积计算的第二补偿项，并由内环控制器将所述补偿项与外环生成的基础控制指令合成后驱动进气先导阀与排气先导阀，本发明能够主动抵消因底板上设置呼吸孔所引入的大气压作用于第一阀座组件产生的附加作用力及其对主阀力平衡的干扰，显著提升了真空压力调节阀在不同工作口压力设定条件下的稳态控制精度与动态响应稳定性。