高置换率药液供应系统

本发明公开高置换率药液供应系统，用于电子半导体领域，系统包括控制器、人机交互屏和双分支药液供应链路；控制器根据人机交互屏采集用户指令，控制双分支药液供应链路中各个阀门和传感器，实现补液、注入N、抽真空、排废和排液。本发明突出贡献在于对半导体加工工艺过程中的药液供应的补液、排液和排废的整个过程及控制逻辑来实现管路内部颗粒的高效置换，从而保证管路的洁净度。