磁角度传感器及其制备方法

一种磁角度传感器及其制备方法，磁角度传感器包括：衬底；位于所述衬底上的缓冲层；位于所述缓冲层的表面的四个隧道磁阻传感器元件，所述四个隧道磁阻传感器元件的钉扎层的磁矩方向一致；位于所述衬底的中央区域上的缓冲层的表面的平面霍尔传感器元件，所述四个隧道磁阻传感器元件均匀环绕在所述平面霍尔传感器传感器元件的周围。本发明通过在同一衬底上集成隧道磁阻传感器和平面霍尔传感器，提高磁角度传感器的灵敏度和稳定性。