一种光谱共焦与精密位置反馈协同的镜片全形貌测量系统

本发明提供了一种光谱共焦与精密位置反馈协同的镜片全形貌测量系统，属于精密光学元器件检测技术领域，包括光栅尺反馈单元，光栅尺反馈单元上端面固定连接有光学测量模块，精密位移模块用于驱动第二抬升模块水平移动，通过各模块配合，解决了传统多轴联动检测中因软件定时采集引发的形貌重构失真与映射坐标错位问题；系统经由对射式非接触光学光路，杜绝了物理触针对精密光学镀膜表面的微划痕损伤；同时，系统集成了多级动态高度补偿模块，确保了被测透镜在大斜率边缘区域以及透明多界面反射干扰下，仍能获得极高的定位重复性、轴向焦深一致性以及亚微米级的动态解算精度，特别契合精密光学元器件在智能化产线高频在线检测中的高标准要求。