电涡流传感器的故障诊断方法、装置及系统

本发明实施例涉及故障检测技术领域，公开了一种电涡流传感器的故障诊断方法、装置及系统，方法包括：获取电涡流传感器输出的多路模拟信号；基于多路模拟信号，确定电涡流传感器的故障诊断参数；基于故障诊断参数和预先设定的多级诊断阈值，确定电涡流传感器的故障状态；其中，多级诊断阈值包括健康阈值范围和预警阈值范围，健康阈值范围包含在预警阈值范围内；多级诊断阈值是基于多个目标传感器在多种预设测试工况下的测试数据的极值分布和离散特征确定的，用于反映电涡流传感器的物理能力极限状态与健康退化状态；目标传感器为与电涡流传感器同型号的传感器。由此，可以精准地区分电涡流传感器的正常性能波动与故障状态。