基于数字孪生的MEMS热电堆传感器自校准方法及系统

本申请实施例提供一种基于数字孪生的MEMS热电堆传感器自校准方法及系统，获取微机电系统热电堆传感器当前工作时段内的实测热电动势时序信号及封装腔体实测环境温度时序信号，组合为传感器实时工作状态数据集合；调用与传感器物理实体同构的数字孪生体实例，将该数据集合加载至其热电耦合仿真模型中进行仿真推演，生成仿真热电动势时序信号；对实测与仿真热电动势时序信号进行信号差异解析，得到反映物理实体与数字孪生体之间输出偏差的热电动势漂移特征曲线；利用该漂移特征曲线对传感器当前响应特性函数执行参数反向修正，生成更新后的响应特性函数并替换原有函数，完成自校准。本发明实现了传感器不中断工作状态下的全生命周期连续自校准。