一种激光诱导石墨烯自卷曲三维传感器

本发明公开了一种激光诱导石墨烯自卷曲三维传感器，涉及柔性电子器件产业技术领域，包括：聚合物前驱体基底、导电功能层和三维卷曲结构，其中，导电功能层设置在聚合物前驱体基底的上表面和/或下表面；三维卷曲结构在聚合物前驱体基底上沿着预设的切割轮廓向上卷起形成的。本发明大幅简化制备工艺，缩短单器件制备时间，实现批量化生产，同时降低制备成本，适配规模化生产需求；本发明实现了应力释放卷曲的问题，拓宽功能材料选择范围，适配多种类型传感器拓展，是一个三维自卷曲架构，可卷入多种新型传感材料，实现新的三维传感器；本发明确保器件结构与电学性能的一致性和稳定性，解决三维传感器集成问题，满足多种三维传感器集成需求。