基于极紫外离散谐波光谱的光学元件反射率/透过率检测系统

本发明属于测量反射光学元件/透射光学元件的反射率/透过率技术领域，具体涉及基于极紫外离散谐波光谱的光学元件反射率/透过率检测系统，包括：环境模拟舱，为一封闭容器；环境仿真单元，与所述环境模拟舱连接，用于调节和维持舱内的环境参数；光学元件检测单元，设置于所述环境模拟舱内，用于对光学元件反射率或透射率进行检测，包括：极紫外光源发射模块，用于产生离散波长光源和连续波长光源；光谱检测模块，设置于所述极紫外光源的出射光路上，所述光谱检测模块配置为：将极紫外离散光谱展开为一系列分立波长的光斑阵列，采集所述光斑阵列的入射光强。本发明实现了对多个分立波长光学元件反射率/透射率的同时测量，极大地提高了测量效率。