半导体金刚石原子级缺陷荧光无损检测装置及方法

本申请公开一种半导体金刚石原子级缺陷荧光无损检测装置及方法，该装置包括连续波激光发生器、三维纳米压电位移台、高数值孔径物镜、二向色镜、滤光片、空间滤波小孔、光电检测单元和三维缺陷重构分析单元。本申请能对半导体金刚石内部不同深度进行超高灵敏度的无损原位检测，支持晶圆级大范围批量检测、能定量反演缺陷局部浓度。