一种两级放大的光刻镜片XY调整机构及其调整方法

本发明公开了一种两级放大的光刻镜片XY调整机构及其调整方法，涉及光刻镜片技术领域，包括光刻镜片结构，光刻镜片结构用于光源通过，调整组件设置于光刻镜片结构的侧边，调整组件用于调整光刻镜片结构在X向和Y向的位置。本发明利用压电促动器通过电压变化产生微小位移，这一位移通过两级杠杆式柔性放大结构进行放大，从而驱动调整组件产生更大范围的位移，两级杠杆式柔性放大结构的设计采用杠杆原理，使得总放大倍率大大提高，通过这种结构，可以有效弥补压电促动器位移行程小的缺点，提供更大范围的微调能力，而且利用柔性铰链结构，能够消除传统机械结构中的摩擦和空回问题，从而确保调整过程中的平稳性和高精度。