一种激光直写成像扫描控制方法、系统及相关设备

本发明实施例提供了一种激光直写成像扫描控制方法、系统及相关设备，用于提高激光直写成像的一致性。实施例方法包括：以激光器数量laserNum作为理论平均步长targetStep，设定波动参数ratio，ratio小于targetStep；以起始余数位置为初始已使用余数写入候选余数集合，在targetStep对应的搜索区间[targetStep‑ratio,targetStep+ratio]内，从最接近targetStep的候选步长开始依次执行步长搜索，选取使移动后的最新余数在候选余数集合中未被使用的候选步长作为目标步长，并将最新余数保存在候选余数集合；重复执行步长搜索过程，直至生成前stepCount‑1个扫描步，并根据总像素行数与已生成扫描步累计像素行数之间的差值，确定最后一个扫描步的补足步长，以生成完整扫描步序；按照完整扫描步序控制激光直写成像设备执行扫描曝光。