一种半导体器件良率提升辅助调控系统及方法

本发明公开了一种半导体器件良率提升辅助调控系统，包括多源异构数据采集模块、边缘计算模块、实时故障感知模块、根因分析模块和智能调控决策模块；所述多源异构数据采集模块采集半导体制造过程中的多源工艺数据，边缘计算模块，部署于生产设备侧，对多源工艺数据进行实时预处理和本地特征提取；所述实时故障感知模块对预处理后的设备传感器数据进行实时监控和异常检测，生成故障分类结果，根因分析模块根据故障分类结果和多源工艺数据进行关联分析，定位良率损失的根因。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种基于统计过程控制的故障检测与分类、多维度关联根因分析，可进行闭环智能调控的一种半导体器件良率提升辅助调控系统及方法。