一种真空-气体联动流体调控系统

本发明公开了一种真空‑气体联动流体调控系统，属于流体压力与流量伺服调控技术领域。针对现有集中式气路架构气流分布均匀性差、工况参数切换慢、需依赖外部缓冲元件导致系统结构复杂的缺陷，本发明采用阵列布置的同轴对置吹吸执行单元，每个单元为三层同轴嵌套结构：内层设正压供气单元，中层设负压抽气单元；通过多通道流体伺服控制器同步调节各单元阀件开度，使工艺气流撞击工件表面产生的径向正压动量与环形抽气产生的径向负压动量在局域作用层内原位矢量抵消。本发明无需外部缓冲元件即可实现高精度流场调控，气流均匀性高、工况切换速度快，兼具气隙自适应能力，适配多品类工件的柔性生产需求。