一种针对晶圆表面温度的控制方法、装置及设备

本发明提供了一种针对晶圆表面温度的控制方法、装置及设备，所述方法包括：获取晶圆升降杆高度与晶圆表面温度的对应关系；根据所述对应关系以及晶圆表面目标温度，确定与所述晶圆表面目标温度匹配的晶圆升降杆目标高度；将所述晶圆升降杆高度调整至所述晶圆升降杆目标高度。本方案中，通过预先确定好晶圆升降杆的高度与晶圆表面温度的对应关系，从而实现在需要控制晶圆表面温度达到某一目标温度时，直接根据对应关系调整晶圆升降杆的高度，即可实现将晶圆表面温度控制在目标温度，能够有效避免接触式导热造成的产能影响。