一种可调针压的MEMS探针设计方法

本发明公开了一种可调针压的MEMS探针设计方法，S1、通过有限元仿真，获取多组不同几何参数组合下的探针针压数据，S2、对原始数据进行缺失值检查和异常值剔除，获取几何参数在所有样本中的均值和/或标准差；S3、采用随机森林回归算法构建从几何参数到针压的映射模型；S4、采用K折交叉验证评估模型泛化性能；S5、对于任意给定的几何参数向量，计算对应的针压值：S6、根据给定的目标针压值反求满足针压要求且几何合理的参数组合，输出参数组合最优解及预测针压值。本发明在探针整体外部尺寸固定的约束条件下，可实现目标针压反向精准求解开槽尺寸参数，具备显著的技术优势与应用价值。