一种功率半导体器件版图布局优化设计方法

本发明公开一种功率半导体器件版图布局优化设计方法，包括：获取器件功耗密度分布并建立功耗密度矩阵；建立热传导模型，采用格林函数法求解半无限大介质并引入有限厚度镜像修正，计算器件间热影响系数，构建非对称热耦合矩阵；基于热耦合矩阵采用谱聚类算法划分热均衡区域；定义以各区域温度梯度差值之和最小化的目标函数，采用模拟退火与遗传算法串行协同策略迭代优化器件位置坐标，并通过罚函数处理版图设计规则约束；设置温度梯度差值阈值作为热均衡判据，迭代终止时输出优化布局方案。本发明实现功率器件版图热感知自适应布局，降低热耦合效应和局部热集中，提升模块热可靠性与电气性能。