基于多策略优化ICP算法的纳米几何结构原子级分辨力测量方法

本发明公开了基于多策略优化ICP算法的纳米几何结构原子级分辨力测量方法，属于纳米测量技术领域。包括：获取待测纳米几何结构的高分辨图像；确定拼接顺序并提取源图与目标图的边界特征点集；基于多策略优化ICP算法对特征点集配准以获得相邻图像变换矩阵；以RANSAC获得初始矩阵，再通过由小而大多尺度分层执行随机抽样、双向最近邻搜索和加权SVD估计来优化变换矩阵；基于所有相邻图像变换矩阵将所有图像在参照图像坐标系下拼接融合以生成全局形貌图像；从中提取轮廓并结合像素尺寸信息计算特征量值。本发明通过多策略优化提升了图像配准的精度和稳健性，进而在有限视场条件下实现了对纳米几何结构的原子级分辨力成像与准确测量。