光罩图纸的生成方法、系统及电子设备

本发明提供一种光罩图纸的生成方法、系统及电子设备，属于黄光蚀刻技术领域，该方法包括：在目标区域内生成多个基准坐标点；将基准坐标点等比缩放得到缩放坐标点；对缩放坐标点进行三角剖分得到多个三角形；确定以缩放坐标点为顶点的各三角形的内心，连接各内心得到封闭多边形；根据原始与缩放坐标点坐标对封闭多边形平移，从而得到光罩图纸。本发明通过内心连线生成多边形并结合平移后处理，在赋予图案形态极大差异性的同时确保了轮廓间隙的一致性，进而消除宏观彩虹纹缺陷，并提高了大尺寸光罩图纸的生成效率。