带热应力自补偿功能的硬X射线单色器及其压力调节方法

本发明涉及带热应力自补偿功能的硬X射线单色器及其压力调节方法，包括：分光晶体单元；流体压力腔室，设置于分光晶体单元的背部，其内部填充有流体介质，用于在分光晶体单元的背部施加可控的压力场；压力驱动机构，用于调节所述流体介质对所述分光晶体单元背部的压力；控制系统，用于根据分光晶体单元的热致形变状态或输出光束参数偏差，向压力驱动机构输出控制信号，以驱动压力驱动机构调节流体介质压力，使分光晶体单元的晶体面型得到补偿。本发明的有益效果是：本发明通过在分光晶体背部构建可实时调节的流体压力场，对高热负载引起的晶体热应力和面型畸变进行主动补偿，突破了传统冷却方式仅能降温而难以修正变形的局限。