用于无电极软X射线光源的碎屑缓解方法以及光源系统

本发明涉及用于无电极软X射线光源的碎屑缓解方法以及光源系统，包括：安装法兰接口；绝缘隔离组件，设置于安装法兰接口内侧；偏置电压极，安装于绝缘隔离组件上，并与出射端口同轴布置，偏置电压极为中空状导电体，其内径大于软X射线光束直径；高压引入组件，用于向偏置电压极施加偏置电压；偏置电压极被配置为在光源工作时施加相对于等离子体电位的负高压，从而形成电场，将等离子体自身喷射出的已带正电的高能阳离子直接吸附至偏置电压极表面。本发明的有益效果是：本发明仅需一个偏置电压极配合绝缘组件及高压引入件即可实现碎屑缓解功能，且易于集成到现有光源腔体中。