复合磁场离子源

本申请实施例公开了一种复合磁场离子源，包括上下设置的阴极、阳极、以及位于阴阳极之间的布气装置；阴极的下表面开设有沿其长边方向延伸的第一凹槽，第一凹槽内间隔嵌设有多个磁体，各相邻磁体同一端的磁极极性相反；布气装置包括自上而下设置的绝缘件和均气板，绝缘件上开设有布气槽，工艺气体由外而内自阳极输出后，经过均气板沿阳极长边方向均匀布气并沿绝缘件上的布气槽向阴极所在方向均匀输送，使阴阳极之间均匀布满工艺气体。本申请实施例之复合磁场离子源，可形成多个独立的闭环磁场，产生更高浓度的等离子体，并使阴阳极之间均匀布满工艺气体。