具有磁场聚焦的电子发射装置及电子枪、半导体设备

本申请提供一种具有磁场聚焦的电子发射装置及电子枪、半导体设备，电子发射装置包括阴极、阳极和第一磁透镜。阴极用于释放电子，阳极设置于阴极的下游，阳极与阴极间隔设置，用于吸引并加速阴极释放的电子以形成电子束。第一磁透镜的至少一部分设置于阴极和阳极的径向外侧，阴极和阳极与第一磁透镜的轴向重合，第一磁透镜形成的磁场用于使电子束在阴极以及阳极之间聚焦。电子由阴极释放后，第一磁透镜形成的磁场可以使电子束在阴极和阳极之间逐渐聚焦，改善因阳极电场畸变等原因导致的电子束发散，进而能够形成直径更小的交叉斑，最终能够形成直径更小的束斑，实现电子枪性能的提升。