等离子体天线模组以及利用其的等离子体产生装置

本发明的实施例提供一种等离子体天线模组以及利用其的等离子体产生装置，等离子体天线模组包括：支承部，具有在预定的方向上延伸的长度；第一直线运动螺杆部，包括第一螺栓部以及第一螺母部，并配置于支承部，并且能够被固定等离子体天线；以及第二直线运动螺杆部，包括第二螺栓部以及第二螺母部，并配置于支承部，能够通过第一螺栓部的旋转而第一螺母部在第一方向上移动，并通过第一螺母部的移动而等离子体天线在第一方向上移动，能够通过第二螺栓部的旋转而第二螺母部在第二方向上移动，并通过第二螺母部的移动而等离子体天线在第二方向上移动，第一直线运动螺杆部以及第二直线运动螺杆部分别为一体的非金属材料。