阻抗匹配器参数配置方法、阻抗匹配阵列、射频电源系统及等离子体射频系统

本申请属于射频电源技术领域，提供一种阻抗匹配器参数配置方法、阻抗匹配阵列、射频电源系统及等离子体射频系统，包括若干条电抗支路单元，每条电抗支路单元可由若干可控电感模块串联组成，或由若干可控电容模块并联组成；其中，可控电感模块由电感子模块与开关子模块并联组成，可调电容模块由电容子模块与开关子模块串联组成。本申请通过所提供的阻抗匹配器参数配置方法控制各电抗支路单元的等效阻抗值，以保证阻抗匹配阵列可以在允许的误差范围内实现阻抗值连续可调，且成本较低、匹配速度快；可实现将目标负载匹配至标准的阻抗值，具有较低的反射功率。