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案件記録

电容器制造方法及存储器件制造方法

発明不明
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16請求項 · 2 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

曹圭镐; 郑主焕; 曺贤植; 金哈娜; 金才玟; 徐德炫; 崔雄辰

出願日

Apr 8, 2026

公開日

Oct 16, 2026

IPC分類

H10D 1/68 (2025.01)

本申请的电容器制造方法包括:在基板上形成多个下电极和支撑所述下电极的支撑层;蚀刻所述下电极以扩展所述下电极的上部间距(TCD);在所述下电极和所述支撑层上形成介电层;以及在所述介电层上形成上电极。

外部リソース