衬底处理方法及衬底处理装置

本衬底处理方法中，由第2搬送机构将清洗治具从清洗治具收容部搬送到衬底载置部(步骤S11)，由第1搬送机构将衬底从衬底收容部搬送到衬底载置部(步骤S13)，衬底载置部中，将衬底积层在清洗治具，取得附有清洗治具的衬底作为处理前衬底(步骤S15)，由第2搬送机构将处理前衬底从衬底载置部搬送到处理单元(步骤S16)，在处理单元中进行处理前衬底的清洗处理(步骤S17)。