一种层间绝缘胶膜涂布装置

本发明公开了一种用于半导体封装的层间绝缘胶膜涂布装置，该装置属于涂布装备领域。传统的涂布方法在半导体封装层间绝缘胶膜制备中存在涂布不均匀、浪费胶料、生产效率低等问题。为解决这些问题，本发明提供了一种层间绝缘胶膜涂布装置，包括离型膜卸卷机、涂布头、真空干燥箱、纠偏机构、覆盖膜卸卷机和收卷机。涂布头由胶膜原料供料系统、恒温装置、温控系统和狭缝涂布头组成，通过狭缝涂布方式将胶膜原料均匀涂布在PET离型膜上。涂布后的离型膜经过真空干燥去除挥发性溶剂，形成胶膜，并与覆盖膜复合后收卷成商品化层间绝缘胶膜。本发明有效解决了涂布不均匀、浪费胶料和生产效率低的问题，设备设计紧凑，操作简便。