衬底处理装置及衬底处理方法

第1搬送机构将附有框架的衬底从第1附有框架的衬底收容部搬送到第1衬底载置部(步骤S1)。第2搬送机构将附有框架的衬底从第1衬底载置部搬送到处理单元(步骤S2)，在处理单元中进行清洗处理(步骤S3)。第1搬送机构将处理后的附有框架的衬底从第1衬底载置部搬送到第2衬底载置部(步骤S4)。第1搬送机构将以第2衬底载置部储存的处理后的附有框架的衬底从第2衬底载置部搬送到第2附有框架的衬底收容部(步骤S5)。