除湿组件、基板处理装置

一种除湿组件、基板处理装置，抑制在使用了用液体处理基板的基板处理装置的设备的排气管道内的结露。根据一个实施方式，公开了一种除湿组件，配置于用液体处理基板的处理组件的下游侧，具有：与所述处理组件的下游侧连结的冷却槽；配置于所述冷却槽内的热交换器；喷射冷却器；及连结所述热交换器的制冷剂入口和所述喷射冷却器的冷风出口的第一冷风配管。