一种石英舟及其制备方法和应用

本申请实施例提供了一种石英舟及其制备方法和应用。所述石英舟包括石英舟基体以及依次设置在石英舟基体表面的基体改性层和阻隔钝化层。通过在石英舟基体表面设置基体改性层和阻隔钝化层，基体改性层填补了石英舟基体表面的微观缺陷并抑制杂质初期扩散，阻隔钝化层凭借低孔隙率形成致密的阻挡屏障，有效抑制金属杂质沿晶界向外扩散，从源头阻断了杂质向硅片的迁移路径。