一种集成电路制造用红外COB准直光源结构

本发明公开了一种集成电路制造用红外COB准直光源结构，涉及光源技术领域，包括壳体、安设在壳体内部凹槽中的红外COB芯片阵列及同轴安设在红外COB芯片阵列顶部的光源调节机构，红外COB芯片阵列能够独立通电调光，用于输出可控红外光束，通过独立可控的红外COB芯片阵列，能够根据需要输出具有特定空间分布和功率模式的可控红外光束，满足复杂工况下的灵活照明需求；镜片可对红外光进行初步汇聚、准直或过滤，提升光束质量，而光源调节机构中，调节组件利用GST相变部在受控加热下的差异化体积形变，驱动微型反射镜独立倾斜或弯曲，实现反射角度的精确调节，有效解决了边缘光线逸散、中心光斑对比度不足等问题，并能补充特定角度的光线。