感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法

一种感光性元件（10），其具备：支撑膜（12）、配置于支撑膜（12）上的正型感光性树脂膜（14）及配置于感光性树脂膜（14）上的保护膜（16），感光性树脂膜（14）的平均厚度为150μm以上。一种感光性元件（10）的制造方法，其具备：通过在支撑膜（12）上涂布正型感光性树脂组合物之后对感光性树脂组合物进行干燥而形成平均厚度150μm以上的感光性树脂膜（14）的工序；及将保护膜（16）配置于感光性树脂膜（14）上的工序。