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案件記録

感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法

発明不明
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§ Ⅰ

案件概要

発明者

桥本周; 向郁夫; 生田壮一; 宇须井厚生

出願日

Feb 7, 2025

公開日

Oct 16, 2026

IPC分類

G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/09 (2006.01)G03F 7/40 (2006.01)

一种感光性元件(10),其具备:支撑膜(12)、配置于支撑膜(12)上的感光性树脂膜(14)及配置于感光性树脂膜(14)上的保护膜(16),支撑膜(12)及保护膜(16)中的至少一者为与感光性树脂膜(14)相接的平均厚度为30μm以上的聚丙烯膜,感光性树脂膜(14)的平均厚度为80μm以上。

外部リソース